{"id":12010,"date":"2026-09-24T20:54:03","date_gmt":"2026-09-24T18:54:03","guid":{"rendered":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/?p=12010"},"modified":"2026-10-16T11:40:14","modified_gmt":"2026-10-16T09:40:14","slug":"warum-vollflaechig-bei-einer-beschichtung","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wissen\/warum-vollflaechig-bei-einer-beschichtung\/","title":{"rendered":"Qualit\u00e4tskontrolle von Beschichtungen mit Snapshot-Hyperspektralbildgebung"},"content":{"rendered":"<style>.kadence-column12010_9fa621-45 > .kt-inside-inner-col{column-gap:var(--global-kb-gap-sm, 1rem);}.kadence-column12010_9fa621-45 > .kt-inside-inner-col{flex-direction:column;}.kadence-column12010_9fa621-45 > .kt-inside-inner-col > .aligncenter{width:100%;}.kadence-column12010_9fa621-45 > .kt-inside-inner-col{background-color:rgba(0, 0, 0, 0);}.kadence-column12010_9fa621-45 > .kt-inside-inner-col:before{opacity:0.85;background-color:var(--global-palette7, 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class=\"kt-adv-heading12010_70529c-8c wp-block-kadence-advancedheading\" data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_70529c-8c\"><mark true=\"true\" class=\"kt-highlight\">Qualit\u00e4tskontrolle<\/mark> von Beschichtungen mit Snapshot-Hyperspektralbildgebung<\/h1>\n\n\n<style>.wp-block-kadence-iconlist.kt-svg-icon-list-items12010_705c55-0d:not(.this-stops-third-party-issues){margin-top:0px;margin-bottom:0px;}.wp-block-kadence-iconlist.kt-svg-icon-list-items12010_705c55-0d ul.kt-svg-icon-list:not(.this-prevents-issues):not(.this-stops-third-party-issues):not(.tijsloc){margin-top:0px;margin-right:0px;margin-bottom:var(--global-kb-spacing-sm, 1.5rem);margin-left:0px;}.wp-block-kadence-iconlist.kt-svg-icon-list-items12010_705c55-0d ul.kt-svg-icon-list{grid-row-gap:5px;}.wp-block-kadence-iconlist.kt-svg-icon-list-items12010_705c55-0d .kb-svg-icon-wrap{font-size:25px;}.wp-block-kadence-iconlist.kt-svg-icon-list-items12010_705c55-0d ul.kt-svg-icon-list .kt-svg-icon-list-item-wrap 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class=\"kt-svg-icon-list-text\">Autor: <a href=\"#author\" title=\"\">Dr. <\/a><a data-type=\"internal\" data-id=\"#autor\" href=\"#author\">Lisa Sophie Walter<\/a><br>Zus\u00e4tzliche Umsetzung &amp; Unterst\u00fctzung<br>Pascal Wieland, Maximilian Czech, Robert Briegel, Ren\u00e9 Heine<\/span><\/li>\n\n\n<style>.kt-svg-icon-list-item-12010_40848a-a2 .kt-svg-icon-list-text mark.kt-highlight{background-color:unset;font-style:normal;color:#f76a0c;-webkit-box-decoration-break:clone;box-decoration-break:clone;padding-top:0px;padding-right:0px;padding-bottom:0px;padding-left:0px;}<\/style>\n<li class=\"wp-block-kadence-listitem kt-svg-icon-list-item-wrap kt-svg-icon-list-item-12010_40848a-a2\"><span class=\"kb-svg-icon-wrap kb-svg-icon-kb-custom-9484 kt-svg-icon-list-single\"><svg viewBox=\"0 0 30 24\"  fill=\"currentColor\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"  aria-hidden=\"true\"><defs ><style \/><\/defs><path class=\"st0\" 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Oktober 2026<\/span><\/li>\n<\/ul><\/div>\n<\/div><\/div>\n\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n\n\n<style>.kadence-column12010_3cfd52-d8 > .kt-inside-inner-col{padding-top:var(--global-kb-spacing-3xl, 6.5rem);}.kadence-column12010_3cfd52-d8 > .kt-inside-inner-col{column-gap:var(--global-kb-gap-sm, 1rem);}.kadence-column12010_3cfd52-d8 > .kt-inside-inner-col{flex-direction:column;}.kadence-column12010_3cfd52-d8 > .kt-inside-inner-col > .aligncenter{width:100%;}.kadence-column12010_3cfd52-d8 > .kt-inside-inner-col:before{opacity:0.9;background-color:var(--global-palette9, #ffffff);}.kadence-column12010_3cfd52-d8, .kadence-column12010_3cfd52-d8 h1, .kadence-column12010_3cfd52-d8 h2, .kadence-column12010_3cfd52-d8 h3, .kadence-column12010_3cfd52-d8 h4, .kadence-column12010_3cfd52-d8 h5, .kadence-column12010_3cfd52-d8 h6{color:var(--global-palette4, #2D3748);}.kadence-column12010_3cfd52-d8 a{color:var(--global-palette4, #2D3748);}.kadence-column12010_3cfd52-d8 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has-theme-palette-7-color has-text-color\" data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_d35bd1-12\">WARUM BESCHICHTUNGEN VOLLFL\u00c4CHIG MESSEN?<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Spin-Coating-Schichten sind nicht automatisch gleichm\u00e4\u00dfig: Luftstr\u00f6mungen \u00fcber dem rotierenden Substrat, Randeffekte und Gradienten bei der L\u00f6sungsmittelverdunstung f\u00fchren zu Randw\u00fclsten (Edge Beads), radialen Schichtdickenverl\u00e4ufen und Streifenbildungen [1, 2].<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die Uniformit\u00e4t wird dennoch \u00fcblicherweise mit punktbasierten Messverfahren \u00fcberpr\u00fcft \u2013 etwa mittels Reflektometrie, Ellipsometrie oder Tastschnittprofilometrie an einigen wenigen Messstellen. Eine Handvoll Messpunkte kann jedoch das <em>Muster<\/em> einer Abweichung nicht sichtbar machen. Und genau dieses Muster unterscheidet beispielsweise einen radialen, durch Luftstr\u00f6mung verursachten Verlauf von einem lokalen Defekt.<\/p>\n\n\n<style>.wp-block-kadence-advancedbtn.kb-btns12010_53fa7b-cd{gap:var(--global-kb-gap-xs, 0.5rem );justify-content:flex-start;align-items:center;}.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-button{font-weight:normal;font-style:normal;}.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0{margin-right:5px;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0 .kt-button{color:#555555;border-color:#555555;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0 .kt-button:hover, .wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0 .kt-button:focus{color:#ffffff;border-color:#444444;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0 .kt-button::before{display:none;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0 .kt-button:hover, .wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_53fa7b-cd .kt-btn-wrap-0 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has-theme-palette-7-color has-text-color\" data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_166a08-fb\">WAS SICH AM MESSAUFBAU GE\u00c4NDERT HAT<\/h2>\n\n\n<style>.kb-image12010_0fcf4f-14 .kb-image-has-overlay:after{opacity:0.3;}<\/style>\n<figure class=\"wp-block-kadence-image kb-image12010_0fcf4f-14 size-large\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"489\" src=\"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_setup-1-1024x489.png\" alt=\"Fig setup\" class=\"kb-img wp-image-11990\" srcset=\"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_setup-1-1024x489.png 1024w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_setup-1-300x143.png 300w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_setup-1-768x367.png 768w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_setup-1.png 1280w\" sizes=\"auto, (max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><figcaption><strong>Abbildung 1 \u00b7 Der Messaufbau.<\/strong> (a) Die Kamera h\u00e4ngt zwischen zwei Diffusorplatten, die indirekt von Halogenlampen beleuchtet werden, und nimmt die Probe durch eine \u00d6ffnung in der unteren Platte auf. Der Lichteinfall erfolgt senkrecht, sodass keine Winkelkorrektur erforderlich ist; die Probe wird au\u00dferhalb der optischen Achse positioniert. (b) Eine einzelne aufgenommene Aufnahme \u2013 das spiegelnde Selbstbild der Kamera befindet sich in der Mitte des Sichtfelds, w\u00e4hrend die Probe au\u00dferhalb dieses Bereichs platziert wird.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die Kamera blickt senkrecht nach unten. In der Wafer-Studie war sie um etwa 5\u00b0 geneigt, damit sie sich nicht selbst in der spiegelnden Oxidschicht abbildet; entsprechend wurde in der Analyse eine Korrektur von cos \u03b8 \u2248 0,998 ber\u00fccksichtigt.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Hier h\u00e4ngt die Kamera vertikal zwischen zwei Diffusorplatten und nimmt die Probe durch eine \u00d6ffnung in der unteren Platte auf (Abb. 1a): Der Lichteinfall erfolgt senkrecht, cos \u03b8 = 1, und bei der Berechnung ist keine Winkelkorrektur erforderlich.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Das Selbstbild der Kamera verschwindet dadurch nicht \u2013 es verlagert sich in die Mitte des Bildes, wo die spiegelnde Probe die Kamera direkt zur\u00fcck in das Objektiv reflektiert (Abb. 1b). Probenst\u00fccke von wenigen Zentimetern Gr\u00f6\u00dfe werden deshalb au\u00dferhalb der optischen Achse und damit au\u00dferhalb dieses Bereichs positioniert.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Wird dieses Selbstbild bei gr\u00f6\u00dferen Proben mithilfe eines verbesserten Diffusors und eines beweglichen Probentisches unterdr\u00fcckt, kann die ULTRIS XMR ebenfalls in Nadir-Ausrichtung betrieben werden. Dieser Aufbau ist Gegenstand einer nachfolgenden Studie.<\/p>\n\n\n<style>.wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56, .wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56[data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_4d8495-56\"]{font-size:30px;font-style:normal;}.wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56 mark.kt-highlight, .wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56[data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_4d8495-56\"] mark.kt-highlight{font-style:normal;color:#f76a0c;-webkit-box-decoration-break:clone;box-decoration-break:clone;padding-top:0px;padding-right:0px;padding-bottom:0px;padding-left:0px;}.wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56 img.kb-inline-image, .wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56[data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_4d8495-56\"] img.kb-inline-image{width:150px;vertical-align:baseline;}@media all and (max-width: 1024px){.wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56, .wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56[data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_4d8495-56\"]{font-size:30px;}}@media all and (max-width: 767px){.wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56, .wp-block-kadence-advancedheading.kt-adv-heading12010_4d8495-56[data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_4d8495-56\"]{font-size:24px;}}<\/style>\n<h2 class=\"kt-adv-heading12010_4d8495-56 H_overline wp-block-kadence-advancedheading has-theme-palette-7-color has-text-color\" data-kb-block=\"kb-adv-heading12010_4d8495-56\">EINE ANDERE KAMERA, DASSELBE AUSLESEVERFAHREN<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">F\u00fcr diese Messungen wurde eine <strong>Cubert ULTRIS X20<\/strong> eingesetzt \u2013 410 \u00d7 410 Pixel, 164 Spektralkan\u00e4le von 350 bis 1000 nm, aufgenommen mit einer einzigen Belichtung und ohne Scanachse [3]. In der Wafer-Studie kam dagegen eine <strong>Cubert ULTRIS XMR<\/strong> mit 61 B\u00e4ndern von 430 bis 910 nm zum Einsatz.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die X20 tastet das Spektrum in 4-nm- statt 8-nm-Schritten ab und beginnt bereits bei 350 statt bei 430 nm. Dadurch liegen mehr Details des Interferenzmusters innerhalb des erfassten Spektralbereichs.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Dass dasselbe Ausleseverfahren unver\u00e4ndert mit beiden Instrumenten funktioniert, ist die zweite zentrale Aussage dieser Technical Note: <strong>Die Methode geh\u00f6rt zur Messung, nicht zur Kamera<\/strong> \u2013 und die Kamera kann passend zur jeweiligen Anwendung ausgew\u00e4hlt werden.<\/p>\n\n\n<style>.kb-table-container12010_0f9990-43{overflow-x:auto;}.kb-table-container .kb-table12010_0f9990-43 th{padding-top:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);padding-right:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);padding-bottom:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);padding-left:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);text-align:center;}.kb-table-container .kb-table12010_0f9990-43 caption{text-align:center;}.kb-table-container .kb-table12010_0f9990-43 td{padding-top:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);padding-right:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);padding-bottom:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);padding-left:var(--global-kb-spacing-xxs, 0.5rem);text-align:left;}.kb-table-container .kb-table12010_0f9990-43 tr:nth-of-type(even){background-color:var(--global-palette9, #ffffff);}<\/style><div class=\"kb-table-container kb-table-container12010_0f9990-43 wp-block-kadence-table\"><table class=\"kb-table kb-table12010_0f9990-43\">\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_224a24-80\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_e151b8-e3\">\n\n<p class=\"has-text-align-left wp-block-paragraph\">PARAMETER<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_f8cfa9-0c\">\n\n<p class=\"has-text-align-left wp-block-paragraph\">WERT<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_e907ee-32\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_314ca1-f6\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kamera<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_a4aedb-f2\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Cubert ULTRIS X20 (410 \u00d7 410 px, 164 Spektralkan\u00e4le)<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_b6895c-ec\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_4832c1-5b\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Spektralbereich<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_2cf4ff-c8\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">350\u20131000 nm (VIS\u2013NIR)<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_43e2b0-88\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_e941b2-04\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Geometrie<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_7dce57-94\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">senkrechter Lichteinfall, Kamera in Nadir-Ausrichtung \u2013 keine Winkelkorrektur<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_18829a-99\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_72d15a-0c\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Arbeitsabstand<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_6746cb-33\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u2248 31 cm<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_379ad2-9a\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_6205f2-4c\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Beleuchtung<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_0a1074-32\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Halogenlampen \u2192 zwei Diffusorplatten (indirekt, diffus)<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n\n<tr class=\"kb-table-row kb-table-row12010_5cf6e0-1c\">\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_28d16b-12\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Belichtungszeit<\/p>\n\n<\/td>\n\n<td  class=\"kb-table-data kb-table-data12010_d9eb60-b3\">\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">45 ms pro Snapshot<\/p>\n\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/table><\/div>\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die X20 verf\u00fcgt \u00fcber eine feste Optik, sodass sich die abgebildete Fl\u00e4che allein aus dem Arbeitsabstand ergibt: hier \u2248 18 \u00d7 18 cm, bei etwa 38 cm Abstand \u2248 22 \u00d7 22 cm.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die Probenst\u00fccke dieser Studie sind nur wenige Zentimeter gro\u00df und f\u00fcllen daher lediglich einen kleinen Teil des Bildfelds aus. Deshalb erscheinen sie r\u00e4umlich relativ grob abgetastet. Das ist eine Eigenschaft der Probengr\u00f6\u00dfe und keine Einschr\u00e4nkung des Messaufbaus, der einen 220 \u00d7 220 mm gro\u00dfen Wafer vollst\u00e4ndig erfassen kann.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">BESCHICHTUNGSQUALIT\u00c4T DIREKT ERKENNEN<\/h2>\n\n\n<style>.kb-image12010_2eaca1-76 .kb-image-has-overlay:after{opacity:0.3;}<\/style>\n<figure class=\"wp-block-kadence-image kb-image12010_2eaca1-76 size-large\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"355\" src=\"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_gallery-1-1024x355.png\" alt=\"Fig gallery (1)\" class=\"kb-img wp-image-11995\" srcset=\"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_gallery-1-1024x355.png 1024w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_gallery-1-300x104.png 300w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_gallery-1-768x266.png 768w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_gallery-1-1536x533.png 1536w, https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/fig_gallery-1-2048x710.png 2048w\" sizes=\"auto, (max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><figcaption><strong>Abbildung 2 \u00b7 Zehn beschichtete Siliziumproben, jeweils mit einer einzigen Belichtung von 45 ms aufgenommen.<\/strong> Die Interferenzfarbe entspricht der Schichtdicke \u2013 eine gleichm\u00e4\u00dfige Farbe steht f\u00fcr einen uniformen Beschichtungslauf, eine sich ver\u00e4ndernde Farbe f\u00fcr einen nichtuniformen. Bild (d) zeigt einen Randwulst (Edge Bead); (f) und (g) wurden mit derselben nominellen Rezeptur und Drehzahl hergestellt. PS \u2013 Polystyrol aus Xylol; PEG-4000 \u2013 Polyethylenglykol 4000 aus Chloroform.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die Farbe ist die Messung: Eine transparente Schicht auf Silizium erzeugt optische Interferenz, deren Farbe von der Schichtdicke abh\u00e4ngt.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Ein gleichm\u00e4\u00dfiger Beschichtungslauf zeigt sich als einheitliche Farbe. Ist beim Beschichtungsprozess etwas schiefgelaufen, wird der Gradient als Farbver\u00e4nderung \u00fcber die Probe hinweg sichtbar \u2013 eine Beurteilung, f\u00fcr die <strong>weder ein Modell noch ein Brechungsindex oder eine Kurvenanpassung erforderlich sind<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Unbeschichtetes Silizium (a) besitzt keine Schicht und bleibt farblich neutral. Die Polystyrolschichten (b\u2013d) sind in ihrem Inneren gleichm\u00e4\u00dfig; das regenbogenfarbene Band am Rand von (d) ist ein <strong>Randwulst (Edge Bead)<\/strong>, der als r\u00e4umliches Muster sichtbar wird, anstatt lediglich als einzelner Messwert erfasst zu werden.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die keilf\u00f6rmigen Proben (h\u2013j) wurden bei 1500, 2000 und 2500 U\/min beschichtet: Bei jeder Probe ver\u00e4ndert sich die Farbe in Richtung der gekr\u00fcmmten Kante, und auch die Farben im Inneren unterscheiden sich. Die Auswirkungen der Prozesseinstellung sind damit unmittelbar sichtbar.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Das Paar (f) und (g) lohnt einen zweiten Blick: Beide bestehen aus Polyethylenglykol 4000, 10 Gew.-% in Chloroform, und wurden mit derselben nominellen Drehzahl von 3000 U\/min hergestellt. Dennoch ist eine Probe gleichm\u00e4\u00dfig, w\u00e4hrend die andere \u00fcber ihre gesamte Fl\u00e4che eine stark fleckige Struktur zeigt.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Einige wenige Messpunkte h\u00e4tten f\u00fcr beide durchaus vergleichbare Mittelwerte ergeben k\u00f6nnen; <strong>eine einzige Aufnahme macht den Unterschied auf einen Blick sichtbar.<\/strong><\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">WENN EIN ZAHLENWERT BEN\u00d6TIGT WIRD<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>Abbildung 3 \u00b7 Reflexionsspektren.<\/strong> (a) Das Interferenzmuster verschiebt sich mit der Drehzahl. (b) Ebenso deutlich verschiebt es sich zwischen vier Positionen auf ein und derselben Probe \u2013 die spektrale Darstellung der in Abbildung 2 sichtbaren Nichtuniformit\u00e4t.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Jeder Pixel enth\u00e4lt ein vollst\u00e4ndiges Reflexionsspektrum \u2013 und an diesem Punkt wird aus dem qualitativen Bild eine quantitative Messung.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Durch die Interferenz zwischen den Reflexionen an den Grenzfl\u00e4chen Luft\/Schicht und Schicht\/Silizium oszilliert dieses Spektrum mit der Wellenl\u00e4nge [4, 5]. Das Muster verschiebt sich sowohl mit der Drehzahl (Abb. 3a) als auch zwischen verschiedenen Positionen auf einer einzelnen Probe (Abb. 3b).<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Aus zwei benachbarten Maxima bei \u03bb\u2081 &gt; \u03bb\u2082 l\u00e4sst sich die Schichtdicke bestimmen:<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>d = 1 \/ (2 \u00b7 n \u00b7 (1\/\u03bb\u2082 \u2212 1\/\u03bb\u2081))<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Ein cos-\u03b8-Term ist nicht erforderlich, da die Kamera in Nadir-Ausrichtung betrieben wird.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">F\u00fcr diese Beziehung wird der Brechungsindex <em>n<\/em> der Beschichtung ben\u00f6tigt; bei Polymeren wird dieser aus ver\u00f6ffentlichten Dispersionsdaten entnommen [6]. Schichtdicken werden hier bewusst nicht ausgewertet \u2013 diese Technical Note konzentriert sich auf die Qualit\u00e4tsbewertung; die Bestimmung der Schichtdicke wird in der Wafer-Studie behandelt.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">GRENZEN DES VERFAHRENS<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">F\u00fcr die Bestimmung der absoluten Schichtdicke wird der Brechungsindex <em>n<\/em> oder alternativ eine Referenzprobe zur Kalibrierung ben\u00f6tigt. Liegt beides nicht vor, liefert die Messung dennoch die <em>relative Schichtdicke<\/em> \u00fcber die Probe hinweg \u2013 und genau diese wird f\u00fcr eine Uniformit\u00e4tspr\u00fcfung ben\u00f6tigt.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Wie jedes auf Interferenzfransen basierende Verfahren besitzt die Methode eine <strong>Untergrenze f\u00fcr d\u00fcnne Schichten<\/strong>: Sind weniger als ungef\u00e4hr zwei Interferenzfransen innerhalb des Spektralbereichs vorhanden, l\u00e4sst sich die Schichtdicke nicht mehr \u00fcber den Abstand der Peaks bestimmen.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">F\u00fcr h\u00f6chste absolute Pr\u00e4zision bei sehr d\u00fcnnen Schichten bleibt die <strong>punktbasierte Ellipsometrie die Referenzmethode; die Snapshot-Messung ersetzt sie nicht.<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Die r\u00e4umliche Abtastung ist im Vergleich zu einem Tastschnittprofilometer grob, sodass Details auf der Gr\u00f6\u00dfenskala einzelner Streifenstrukturen nicht aufgel\u00f6st werden. Au\u00dferdem ist bei senkrechtem Lichteinfall stets das spiegelnde Selbstbild der Kamera vorhanden.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">FAZIT<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Dieser Messaufbau wurde f\u00fcr spiegelnde Proben entwickelt \u2013 insbesondere f\u00fcr Wafer \u2013 und Cubert baut seine Anwendungserfahrung im Bereich Wafer und Halbleiter kontinuierlich weiter aus.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Zwei Eigenschaften machen den Aufbau f\u00fcr die routinem\u00e4\u00dfige Qualit\u00e4tskontrolle besonders interessant.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Er ist <strong>auf Wiederholbarkeit ausgelegt<\/strong>: Jede Probe wird in derselben fest definierten Geometrie und unter derselben Beleuchtung gemessen. Dadurch wird eine der gr\u00f6\u00dften Quellen f\u00fcr Schwankungen zwischen einzelnen Messdurchl\u00e4ufen eliminiert. Wie stabil dies \u00fcber mehrere Wochen hinweg bleibt, h\u00e4ngt von der Alterung der Lampen, der Stabilit\u00e4t von Kamera und Positionierung sowie vom Kalibrierintervall ab; \u00fcber einen solchen Zeitraum wurde dies bislang noch nicht validiert.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Und das Verfahren ist <strong>schnell<\/strong> \u2013 drei\u00dfig 200 \u00d7 200 mm gro\u00dfe Wafer wurden manuell eingelegt und gemessen, und der gesamte Vorgang dauerte weniger als 30 Minuten.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Was hier anhand von Spin-Coating-Schichten gezeigt wird, ist nicht auf Spin Coating beschr\u00e4nkt: Ausgewertet wird die Interferenzfranse und nicht das Abscheideverfahren.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Tauchbeschichtung (Dip Coating), Slot-Die- und Rakelbeschichtung sowie CVD- oder PVD-Schichten auf reflektierenden Substraten kommen ebenfalls infrage \u2013 <strong>vorausgesetzt, die abgeschiedene Schicht ist ausreichend transparent und erzeugt messbare D\u00fcnnschichtinterferenz.<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Diese Voraussetzung ist entscheidend: Eine opake metallische Schicht erzeugt keine Interferenzfransen und kann mit diesem Messverfahren nicht untersucht werden.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Zusammen mit der Wafer-Studie deckt der Ansatz mit ein und derselben Methode sowohl zentimetergro\u00dfe Proben als auch 200-mm-Wafer ab.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Ein Schritt wird hier bewusst noch nicht gezeigt: die automatisierte Interpretation der Ergebnisse. Diese wird derzeit auf Basis von <strong>Cuvis.AI<\/strong> entwickelt, Cuberts Open-Source-Framework f\u00fcr Hyperspektral-AI-Pipelines (github.com\/cubert-hyperspectral\/cuvis-ai, abgerufen am 25. August 2026).<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">ARBEITEN SIE MIT UNS ZUSAMMEN<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>Cubert f\u00fchrt eine Machbarkeitsstudie mit Ihren eigenen beschichteten Proben durch \u2013 mit Ihrem Material, Ihrem Substrat und Ihrem Schichtdickenbereich \u2013 und dokumentiert dabei die Wiederholbarkeit sowie die f\u00fcr eine absolute Schichtdickenbestimmung erforderliche Kalibrierung.<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Senden Sie uns Referenzproben oder vereinbaren Sie ein technisches Gespr\u00e4ch unter <strong><a>sales@cubert-gmbh.de<\/a><\/strong>.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">LITERATUR<\/h2>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li>Q. Liu, Y. Yan, L. Meng, Z. Zhang, P. Zhou, \u201cInfluence of Airflow Disturbance on the Uniformity of Spin Coating Film Thickness on Large Area Rectangular Substrates,\u201d <em>Coatings<\/em> 12(9), 1253 (2022). doi:10.3390\/coatings12091253<\/li>\n\n\n\n<li>S. Shiratori, K. Tanikawa, T. Kamon, M. Ueda, T. Kuroiwa, H. Nagano, K. Shimano, \u201cCritical Marangoni Number for Disappearance of Striations during Spin-Coating,\u201d <em>Langmuir<\/em> 41(31), 21010\u201321020 (2025). doi:10.1021\/acs.langmuir.5c02722<\/li>\n\n\n\n<li>N. Hagen, M. W. Kudenov, \u201cReview of snapshot spectral imaging technologies,\u201d <em>Opt. Eng.<\/em> 52(9), 090901 (2013). doi:10.1117\/1.OE.52.9.090901<\/li>\n\n\n\n<li>E. Hecht, <em>Optics<\/em>, 5th ed., Pearson (2017), Ch. 9.<\/li>\n\n\n\n<li>R. Swanepoel, \u201cDetermination of the thickness and optical constants of amorphous silicon,\u201d <em>J. Phys. E<\/em> 16(12), 1214\u20131222 (1983). doi:10.1088\/0022-3735\/16\/12\/023<\/li>\n\n\n\n<li>N. Sultanova, S. Kasarova, I. Nikolov, \u201cDispersion Properties of Optical Polymers,\u201d <em>Acta Phys. Pol. A<\/em> 116(4), 585\u2013587 (2009). doi:10.12693\/aphyspola.116.585<\/li>\n<\/ol>\n<\/div><\/div>\n\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n\n\n<style>.kadence-column12010_dd5181-3a > .kt-inside-inner-col{column-gap:var(--global-kb-gap-sm, 1rem);}.kadence-column12010_dd5181-3a > .kt-inside-inner-col{flex-direction:column;}.kadence-column12010_dd5181-3a > .kt-inside-inner-col > .aligncenter{width:100%;}.kadence-column12010_dd5181-3a > .kt-inside-inner-col:before{opacity:0.3;}.kadence-column12010_dd5181-3a{position:relative;}@media all and (max-width: 1024px){.kadence-column12010_dd5181-3a > .kt-inside-inner-col{flex-direction:column;justify-content:center;}}@media all and (max-width: 767px){.kadence-column12010_dd5181-3a > .kt-inside-inner-col{flex-direction:column;justify-content:center;}}<\/style>\n<div class=\"wp-block-kadence-column kadence-column12010_dd5181-3a\"><div class=\"kt-inside-inner-col\"><style>.kb-row-layout-id12010_862ba6-70 > 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Im Rahmen ihrer T\u00e4tigkeit testet sie aktiv neue Anwendungsf\u00e4lle mit den Hyperspektralkameras von Cubert, bewertet deren Machbarkeit und untersucht, wie sich konkrete messtechnische Herausforderungen mithilfe der Technologie l\u00f6sen lassen.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Durch die praxisnahe Erprobung neuer Anwendungen und den engen Bezug zu realen Kundenanforderungen gewinnt sie wertvolle Einblicke in die M\u00f6glichkeiten der hyperspektralen Bildgebung. Diese Erfahrungen bilden die Grundlage f\u00fcr die praxisorientierten Erkenntnisse, die sie in ihren Whitepapers pr\u00e4sentiert.<\/p>\n\n\n<style>.wp-block-kadence-advancedbtn.kb-btns12010_43931c-07{gap:var(--global-kb-gap-xs, 0.5rem );justify-content:flex-start;align-items:center;}.kt-btns12010_43931c-07 .kt-button{font-weight:normal;font-style:normal;}.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0{margin-right:5px;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0 .kt-button{color:#555555;border-color:#555555;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0 .kt-button:hover, .wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0 .kt-button:focus{color:#ffffff;border-color:#444444;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0 .kt-button::before{display:none;}.wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0 .kt-button:hover, .wp-block-kadence-advancedbtn.kt-btns12010_43931c-07 .kt-btn-wrap-0 .kt-button:focus{background:#444444;}<\/style>\n<div class=\"wp-block-kadence-advancedbtn kb-buttons-wrap kb-btns12010_43931c-07\"><style>ul.menu .wp-block-kadence-advancedbtn .kb-btn12010_4c3f02-fc.kb-button{width:initial;}.wp-block-kadence-advancedbtn .kb-btn12010_4c3f02-fc.kb-button{color:var(--global-palette10, #3182CE);background:var(--global-palette1, #3182CE);padding:var(--kb-btn-padding);margin:var(--kb-btn-margin);padding-top:5px;padding-right:5px;padding-bottom:5px;padding-left:5px;box-shadow:none;}.kb-btn12010_4c3f02-fc.kb-button .kb-svg-icon-wrap{font-size:30px;--kb-button-icon-size:30px;}.wp-block-kadence-advancedbtn .kb-btn12010_4c3f02-fc.kb-button:hover, .wp-block-kadence-advancedbtn .kb-btn12010_4c3f02-fc.kb-button:focus{color:var(--global-palette10, #3182CE);background:var(--global-palette13, #3182CE);box-shadow:var(--kb-btn-shadow-hover, none);}.kb-btn12010_4c3f02-fc.kb-button .kt-btn-inner-text{display:none;}<\/style><a class=\"kb-button kt-button button kb-btn12010_4c3f02-fc kt-btn-size-standard kt-btn-width-type-auto kb-btn-global-fill kt-btn-has-text-false kt-btn-has-svg-true wp-block-kadence-singlebtn\" href=\"https:\/\/www.linkedin.com\/in\/dr-lisa-sophie-walter-22638b337\/\" target=\"_blank\" rel=\"noreferrer noopener\"><span class=\"kb-svg-icon-wrap kb-svg-icon-fa_linkedin-in kt-btn-icon-side-right\"><svg viewBox=\"0 0 448 512\"  fill=\"currentColor\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"  aria-hidden=\"true\"><path d=\"M100.3 480H7.4V180.9h92.9V480zM53.8 140.1C24.1 140.1 0 115.5 0 85.8 0 56.1 24.1 32 53.8 32c29.7 0 53.8 24.1 53.8 53.8 0 29.7-24.1 54.3-53.8 54.3zM448 480h-92.7V334.4c0-34.7-.7-79.2-48.3-79.2-48.3 0-55.7 37.7-55.7 76.7V480h-92.8V180.9h89.1v40.8h1.3c12.4-23.5 42.7-48.3 87.9-48.3 94 0 111.3 61.9 111.3 142.3V480z\"\/><\/svg><\/span><\/a><\/div>\n<\/div><\/div>\n\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Unser Whitepaper \u201eSiO Thickness Detection on Silicon Wafers\u201c hat gezeigt, dass eine einzige Snapshot-Aufnahme eine vollfl\u00e4chige Schichtdickenkarte der Oxidschicht liefert, wobei die gemessenen Werte nur um wenige Prozent von den Nominalwerten abweichen. Das zugrunde liegende physikalische Prinzip und dessen Validierung werden dort ausf\u00fchrlich beschrieben und daher hier nicht erneut behandelt.<\/p>\n","protected":false},"author":3,"featured_media":14260,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"bBlocksCursorData":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","slim_seo":{"title":"Qualit\u00e4tskontrolle von Beschichtungen mit Snapshot-Hyperspektralbildgebung - Cubert Hyperspectral","description":"Unser Whitepaper \u201eSiO Thickness Detection on Silicon Wafers\u201c hat gezeigt, dass eine einzige Snapshot-Aufnahme eine vollfl\u00e4chige Schichtdickenkarte der Oxidschic"},"_slim_seo_primary_term_category":14,"_slim_seo_primary_term_post_tag":0,"footnotes":""},"categories":[14,25],"tags":[],"hf_cat_post":[],"class_list":["post-12010","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-anwendungen","category-verteidigungsindustrie"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":14,"label":"Anwendungen"},{"value":25,"label":"Verteidigungsindustrie"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/Abbildung2-1-1024x355.png",1024,355,true],"author_info":{"display_name":"Deborah Kliebhan","author_link":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/author\/deborah\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":14,"name":"Anwendungen","slug":"anwendungen","term_group":0,"term_taxonomy_id":14,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":19,"filter":"raw","cat_ID":14,"category_count":19,"category_description":"","cat_name":"Anwendungen","category_nicename":"anwendungen","category_parent":0},{"term_id":25,"name":"Verteidigungsindustrie","slug":"verteidigungsindustrie","term_group":0,"term_taxonomy_id":25,"taxonomy":"category","description":"","parent":14,"count":1,"filter":"raw","cat_ID":25,"category_count":1,"category_description":"","cat_name":"Verteidigungsindustrie","category_nicename":"verteidigungsindustrie","category_parent":14}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/12010","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=12010"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/12010\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":13119,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/12010\/revisions\/13119"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/14260"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=12010"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=12010"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=12010"},{"taxonomy":"hf_cat_post","embeddable":true,"href":"https:\/\/cubert-hyperspectral.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/hf_cat_post?post=12010"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}